晶圆传输机械臂怎么选齿形惰轮？

晶圆传输机械臂对齿形惰轮的选择要求极高，需兼顾传动平稳性、无尘洁净、抗静电、低回转阻力与长寿命特性。根据使用环境和负载结构，应选用高精度、轻量化、耐腐蚀材料的齿形惰轮，并合理配置轴承与表面处理，以保障晶圆搬运的稳定、安全和无污染运行。

一、明确应用环境与负载特性

晶圆传输机械臂常用于半导体无尘车间，其齿形惰轮主要配合同步带完成精密的转动导向。首先需根据传输路径、臂长与晶圆尺寸，明确所需齿形惰轮的齿型(如HTD、GT系列等)与节距，以匹配同步带齿距及运动节奏。其负载普遍较轻，但精度要求高，因此要求惰轮具有极小的径向跳动和高几何对称性，以保证晶圆定位稳定性。

二、优选轻质与无尘材料结构

惰轮材质应优先选择高强度轻质材料，如POM、PEEK工程塑料或阳极氧化铝，以减轻负载、降低驱动惯性。此外，为避免颗粒释放污染，需采用无润滑干运行结构，或配置密封轴承防止润滑脂溢出。齿面处理上应具备良好的耐磨性与抗静电性能，避免因摩擦积聚静电而引发晶圆损伤或吸附微尘。部分高等级应用甚至需选用陶瓷或不锈钢惰轮，提升洁净与耐蚀能力。

三、匹配轴承结构与安装方式

惰轮轴承配置必须满足低摩擦、低噪音、高刚性特性，推荐使用精密深沟球轴承或带法兰高密封轴承。在安装结构上，应确保惰轮与同步带中心线高度一致，防止带体跳动引发摆动误差。同时，采用偏心结构调节张力机构可提升传动精度与维护便利性。高端晶圆搬运系统常采用双支撑结构提升惰轮刚性，进一步减少机械臂回转误差。

总结：

晶圆传输机械臂对齿形惰轮的选型不仅仅是尺寸和传动功能的匹配，更是洁净、精度、寿命与系统协同性能的系统优化过程。合理选择高精度、轻量化、耐磨损的惰轮结构，将显著提升晶圆搬运的效率与安全性，同时降低系统运行噪音与维护频率，是高端半导体设备设计中不可忽视的重要一环。本文内容是上隆自动化零件商城对“齿形惰轮”产品知识基础介绍的整理介绍，希望帮助各行业用户加深对产品的了解，更好地选择符合企业需求的优质产品，解决产品选型中遇到的困扰，如有其他的疑问也可免费咨询上隆自动化零件商城。