光刻机掩模台驱动选哪种齿形惰轮？

光刻机掩模台驱动对齿形惰轮的精度、稳定性与低振动要求极高。为确保纳米级定位精度，应选用高精密度、低偏心、抗热变形性能佳的齿形惰轮，如采用研磨级铝合金或不锈钢材质，并配合HTD或AT型齿形结构，保证齿合平稳无冲击。

一、高精度与低跳动性是基础要求

光刻机掩模台需实现亚微米级甚至纳米级的精准定位，因此齿形惰轮必须具备极高的圆跳动控制能力和齿形加工精度。优选CNC精密加工+二次研磨工艺，确保惰轮齿廓无偏移、无粗糙断面。通常选用HTD或AT型齿形结构，其中AT型因齿顶平坦、齿形刚性更强，齿合稳定性更好，适用于精密平台应用。惰轮表面要求阳极氧化或抗腐蚀处理，以防止微粒脱落影响洁净度。

二、材料稳定性与抗热变形能力关键

光刻系统多处于恒温洁净室，温控严格，因此齿形惰轮材质需具备良好热稳定性。推荐使用高强度铝合金(如7075-T6)或不锈钢(如SUS304)，其热膨胀系数低且加工后保持性强，不易因温差导致尺寸偏差或啮合失稳。同时，轻质材料有利于降低整体驱动负载，提升系统响应速度与加减速控制精度。必要时，可考虑添加动平衡加工，进一步减小旋转惯性与微振。

三、配套结构设计与运转噪音抑制

为确保掩模台运行平顺，齿形惰轮需配合低背隙同步带及高精密轴承系统，防止因啮合间隙或轴承游隙造成定位误差。此外，惰轮齿面必须高度光滑、无异物附着，以免影响洁净室运行。同步传动结构中惰轮的安装同心度、带轮与带的张力匹配也是必须考虑的因素，任何微小误差都会直接放大至光刻精度表现中。

总结：

光刻机掩模台驱动系统对齿形惰轮提出了极致要求，需选用高精度、高刚性、抗热变形材料制成的AT或HTD齿形惰轮，辅以动平衡处理和优质同步带，配合严控的安装精度与洁净环境维护，从而确保系统运行的稳定性和定位的可靠性，是高端装备制造中不可妥协的核心环节之一。本文内容是上隆自动化零件商城对“齿形惰轮”产品知识基础介绍的整理介绍，希望帮助各行业用户加深对产品的了解，更好地选择符合企业需求的优质产品，解决产品选型中遇到的困扰，如有其他的疑问也可免费咨询上隆自动化零件商城。